Les micro-nanotechnologies MEMS à base de silicium au service de l’industrie de demain
Les techniques de photolithographie nées dans l’industrie des semi-conducteurs peu après la deuxième guerre mondiale migrent depuis une vingtaine d’années dans le secteur de la mécanique. Ces techniques sont en passe de remplacer avantageusement les technologies conventionnelles pour la fabrication des composants et systèmes mécaniques de petite taille. Longtemps cantonnés au stade de la recherche […]