Les micro-nanotechnologies MEMS à base de silicium au service de l’industrie de demain

Les techniques de photolithographie nées dans l’industrie des semi-conducteurs peu après la deuxième guerre mondiale migrent depuis une vingtaine d’années dans le secteur de la mécanique. Ces techniques sont en passe de remplacer avantageusement les technologies conventionnelles pour la fabrication des composants et systèmes mécaniques de petite taille. Longtemps cantonnés au stade de la recherche exploratoire, les microsystèmes électromécaniques, désormais connus sous l’acronyme MEMS (MicroElectroMechanical Systems…), sont appelés à sortir des laboratoires pour pénétrer de nombreux secteurs industriels.
Dans ce contexte, le conférencier exposera retrace l’évolution des MEMS, de leur naissance en Californie et au Japon en 1990, jusqu’à nos jours et mettra en évidence les spécificités de la production massivement parallèle des composants et systèmes électromécaniques sur substrat de silicium. Des micromoteurs aux micro-turbines sur silicium en passant par les capteurs abandonnés sans énergie et les insectes artificiels « fusionnant » la mécanique et l’énergie sur un même substrat de silicium, le conférencier démontrera le recul incessant des frontières de la miniaturisation, de la précision et de l’intégration des micro-nanotechnologies MEMS.
 L’analyse objective des récentes avancées de la recherche aux échelles micrométrique et nanométrique démontre qu’il n’y a pratiquement plus de frontière à la miniaturisation des machines. Un nouvel état de l’art prend progressivement forme, ouvrant ainsi de nouvelles perspectives pour le développement de technologies de rupture dans les domaines de la défense comme du secteur civil.